为何我们放弃在红外固化过程中使用臭氧
在半导体制造厂中，“清洁”并非仅仅是一个目标，而是至关重要的前提。哪怕留下一点点化学残留物，都会引发问题。正因如此，我们转而使用无需臭氧的红外灯。
大多数传统的短波红外系统在运行过程中会意外产生臭氧作为副产品。这显然不是好事。通过避免使用臭氧，我们不仅满足了行业标准的“绿色环保”要求，还能保护硬件设备。
科学原理（简化版）
普通红外灯发出的辐射波长通常在185纳米到254纳米之间。这种能量会与空气中的氧气发生反应，从而生成臭氧。
在洁净室里，臭氧简直就是灾难——它会侵蚀精密的金属部件，还会破坏有机聚合物。为了解决这个问题，我们在石英管中加入了特殊的涂层和掺杂剂，这些物质可以起到过滤作用，阻止真空紫外光线的产生。这样一来，虽然仍然能获得所需的强烈热量，但却不会产生任何腐蚀性气体。
不必再加热空气了
想象一下巨大的对流烤箱：为了给一箱空气加热，需要耗费大量的金钱和电力，实在是一种浪费。
而红外灯则不同——它们直接照射到待处理的物体上。这样既更快，也更高效。因为不必浪费能量来加热整个房间，所以每块芯片所需的能耗大大降低。实际上，我们是在加热物体本身，而非整个环境。
关于这一改变的真相
我不敢说这是一种“神奇的解决方案”。不过，有一些事项需要注意。由于我们必须过滤掉那些会导致臭氧生成的波长，因此光谱分布会发生变化。你不能简单地打开开关就解决问题，可能需要调整传送带的速度或灯光的高度，才能让固化过程达到理想状态。
如果你使用的是高速生产线，那么还需要确保PID控制器能够适应这种经过过滤的灯光所具有的特殊响应时间。
好消息是，这些红外灯可以直接替代现有的设备。你可以保留现有的设置，同时再也不用担心污染问题了。