别再浪费时间加热空气了：为什么金色反射器与红外线技术如此有效
说实话，试图通过向腔室内吹热风来加热半导体晶圆其实是一种效率极低的方法。你几乎要花一半的时间来等待空气把晶圆加热，而与此同时，大量的能量被浪费在加热房间里的空气上。这显然是非常低效的。
因此，我们才使用红外线灯和金色反射器。与其让热量通过空气传递，不如直接将热量传递到物料上。这才是有效的加热方式，因为它是通过辐射来传递热量的，而不是依靠空气流动。
为什么选择黄金？
市面上有很多铝制反射器，但它们的能量损耗很大。而黄金则不同——它能够将红外线精确地反射到所需的位置。使用黄金时，光子不会被外壳吸收，而是直接照射到目标物体上。这样就能实现更集中、更强烈的加热效果。重点不在于产生更多的热量，而在于将热量精准地传递到需要的地方。
实际应用中的差异
热风加热依赖于对流，而这一过程速度很慢。此外，加热效果也不均匀，往往会导致晶圆上出现“冷点”。而红外线加热则能瞬间完成加热过程。在深层加工过程中，这可以让加热时间从几分钟缩短到几秒。这才是真正的优势所在。当你不再需要等待空气升温时，生产效率就会大幅提升。
需要注意的问题
高强度的红外线并不是随时都可以使用的。如果晶圆太薄，或者PID控制器无法快速响应，就很容易导致温度过高，从而烧毁晶圆。因此，必须确保传感器和冷却风扇能够应对这种快速的温度变化。
最后一点：一定要保持金色反射器的清洁。虽然一点点灰尘或氧化可能看起来没什么大不了的，但实际上它会降低反射率。一旦发生这种情况，红外线灯就需要加倍努力来补偿，从而导致其更快损坏。只要把它们连接到精确的电源上，并保持其清洁，就可以正常使用了。