别再浪费时间加热空气了：为什么金色反射器与红外线技术如此有效 说实话，试图通过向腔室内吹热风来加热半导体晶圆其实是一种效率极低的方法。你几乎要花一半的时间来等待空气把晶圆加热，而与此同时，大量的能量被浪费在加热房间里的空气上。这显然是非常低效的。 因此，我们才使用红外线灯和金色反射器。与其让热量通...

避免灯管爆裂的灾难 在高温环境下对晶圆进行固化处理时，灯管爆裂绝非简单的“维护问题”，而是一场真正的灾难。前一秒一切正常，下一秒，石英碎片和卤素沉积物就会洒满整个工作区域。这会导致大量产品报废，给相关人员带来巨大麻烦。因此，我们不会把反射器仅仅视为用于反射红外辐射的工具，而是将其视为第一道防线。...