
为何我们要改用碳纤维红外加热技术?
说实话,传统的对流式烤箱以及基于溶剂的干燥方式实在麻烦重重。它们不仅效率低下,还会产生大量污垢,而且还需要使用那些人们不再希望在制造过程中出现的化学物质。 因此,我们选择了碳纤维红外灯作为替代方案。这是一种更环保的加工方式——没有有害催化剂,也没有难闻的废气,而且产生的碳足迹也大大减少。这显然是更明智的选择。
它的工作原理是什么?
传统的金属灯丝固然可以,但碳纤维则有所不同。它利用高电阻的碳芯来产生中长波段的热量。 最棒的是,热量能够精准地传递到需要加热的位置。热量会直接作用于光刻胶或粘合剂层,而不会损坏下面的硅基板。这样一来,就无需再担心因热空气分布不均而导致的基板变形问题了。
节能又省心
如果你使用的是无铅标准,那么你就会知道温度控制有多么重要。稍有差错,晶圆就会毁掉。 而碳纤维灯则可以立即达到目标温度,因为不需要先让庞大的金属部件升温。此外,你也不必浪费能量去加热整个腔室内的空气,只需加热需要加热的部分即可。这样就能降低每块晶圆的能耗,从而让财务人员满意,同时也有助于保护环境。
需要注意的问题
不过,这并不是万能的。你仍然需要小心控制功率密度。如果在一个小空间内注入过多的电能,就会导致局部过热。因此,你必须调整输送带的速度和灯光的高度,以避免烧毁基板的边缘。 另外,还要注意冷却风扇的运行状况。如果风扇不平衡,车间内的温度就会上升,从而导致传感器报警。 我们设计的这些灯具可以轻松替换现有的加热设备。它们能缩短干燥时间,同时消除那些含有有害化学物质的溶剂。这是一种更快、更环保的加工方式。