模块化红外加热阵列

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项，而是一项热工承诺。晶圆上仅1.5°C的温度漂移，就足以将关键线宽变形，导致良率下降。我们设计了模块化红外加热阵列，以适应这一现实，提供可重复、可测量的温度控制，因为这是工艺的基本要求。 技术重点 该加热阵列采用近红外发射器，采用模块化布局，能够根据工艺窗口匹配加...