AFM 原子力显微镜 加热器

在晶圆厂车间，AFM加热器温度漂移0.1°C不仅仅是测量上的干扰。它可能导致光刻胶软烘和硬烘工艺异常，从而打乱整体的热预算。当热均匀性失控时，线宽控制和缺陷密度也会受到影响。我们设计的这款AFM加热器能够在物理需求的地方保持温度——直接作用于样品、扫描区域内，以及Class 1–100级洁净室环境...