RTP系统用卤素灯

在制造车间里，您也知道：在光刻胶烘烤过程中，哪怕只有0.5°C的温度变化，都可能使关键尺寸发生纳米级的偏差，从而导致整批产品报废。RTP并不仅仅是关于热量控制的问题，它更关乎能够实现可重复的、精确的晶圆级温度控制，同时不会对无尘室环境造成干扰。 至关重要的因素 我们设计的这些卤素灯采用了短波红外线...