停止让热量在真空室中白白流失
在真空环境中工作时，对流现象会消失。此时，只有辐射作用存在。如果不加以注意，大部分宝贵的能源就会浪费在真空室的墙壁上。在处理晶圆时，每一瓦特的能量损失都相当于设计上的缺陷。
因此，我们使用镀金反射器。虽然听起来很高级，但实际上原理很简单：我们希望红外能量能够照射到晶圆上，而不是被钢壁吸收掉。
为什么要用黄金？
大多数人最初会选择经过抛光的铝或不锈钢材料。这些材料看似光亮，但在红外线范围内，它们就像海绵一样，会吸收大量的能量。所以，我们改用高纯度的金层来替代它们。黄金能够有效地将红外能量反射回去，从而减少热量损失。这样一来，升温时间会缩短，同时也能避免某些部件过热。
让每一瓦特的能量都发挥最大效用
要让300毫米口径的晶圆保持稳定的温度并非易事，这需要精确的控制。通过使用镀金反射器来减少辐射损失，就可以降低能耗。这样，虽然表面温度不变，但功率密度却降低了。您的电源设备也会因此得到好处。
不过，还是有一些需要注意的地方
这种高效性也意味着需要格外小心。因为这些系统会集中产生大量热量。如果灯的位置偏差几毫米，就可能会出现严重的温度梯度。因此，必须确保PID控制器和热电偶能快速响应，以维持温度稳定。另外，还要确保冷却系统能够有效处理从反射器反射回来的热量，否则可能会导致密封件损坏。
我们的设计理念就是让热量精准地传递到需要的地方——也就是晶圆上。这样就不会有能量浪费，也不会有部件过热的情况。这才是真正高效、清洁的散热方式。