ランプの破裂という悪夢を防ぐには
高負荷でウェーハを加熱処理しているとき、ランプが破裂するというのは単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは大惨事です。 一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には、クォーツの破片やハロゲンの沈着物がウェーハの表面に散らばってしまいます。これにより、多くの製品が廃棄され、関係者全員にとって大きな悩みの種となります。だからこそ、私たちは反射板を単なる赤外線を反射する道具としてではなく、最前線の防御手段として扱うのです。
混乱を封じ込める
私たちは、深い形状の反射板や、ランプを覆うような保護シールドを使用します。 これはまるでセーフネットのようなものです。もし電力の急変や熱衝撃によってクォーツのケースが壊れても、反射板が破片を受け止めてくれます。そうすれば、ガラスの破片がウェーハの上に散らばることはなく、混乱を防ぐことができます。これにより、潜在的な災害をコントロール可能な状態に変えることができます。
冷却を維持し、寿命を延ばす
私たちは高純度のアルミニウムや金メッキされた表面を使用します。なぜかというと、これらの材料は赤外線を非常に効率的に反射するからです。 そのおかげで、より低いワット数でランプを動かしても、ウェーハの温度を同じレベルに保つことができます。ランプが過度に負担をかけずに済むので、管の交換頻度も大幅に減ります。 また、取り付け方法にもこだわります。もし管が少しでも歪んでしまうと、ホットスポットができてしまいます。そして、ホットスポットはランプの故障の前触れです。私たちは、熱が均等に分布するようにしています。
コストとのバランス
しかし、欠点もあります。 シールドや深い形状の反射板を追加すると、加熱装置のスペースが必要になります。また、ランプの周囲には死んだ空気の層ができてしまいます。 適切な冷却ファンがなければ、その熱がそのまま残ってしまいます。結果として、接続部が酸化して故障してしまいます。これを避けるために、私たちは常に強制送風式のシステムを推奨します。これにより、端末部分が冷やされ、システム全体が安定して動作し続けます。