なぜ私たちは炭素繊維を利用した赤外線照射方式に切り替えるのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンや溶剤を使った乾燥方法は面倒です。処理に時間がかかり、汚れも多く、さらには、工場内で使いたくないような化学物質が必要になります。 だからこそ、私たちは炭素繊維を利用した赤外線ランプを採用したのです。これはよりクリーンな方法です。危険な触媒や有害な排気ガスもなく、二酸化炭素の排出量も大幅に減ります。当然の選択です。
実際の動作原理はどうなっているのか？ 従来の金属フィラメントも悪くはありませんが、炭素繊維は違います。高抵抗の炭素コアを利用して、中長波長域の熱を発生させます。 素晴らしい点は、熱が必要な場所に的確に届くことです。シリコン基板を傷つけることなく、フォトレジストや接着剤層に直接熱が伝わります。目的の部分だけを加熱できるのです。高温の空気を全体に吹き付けることで起こる問題も解決されます。
エネルギーの節約（そして精神的な負担の軽減） 無鉛基準で作業する場合、温度制御がいかに難しいかご存知でしょう。少しでもミスがあると、ウェーハが台無しになってしまいます。 炭素繊維ランプなら、目標温度にほぼ瞬時に到達します。大きな金属部品を温める必要がないのです。 また、チャンバー内の空気を加熱するのにエネルギーを無駄にすることもありません。必要な部分だけを加熱するので、1枚のウェーハあたりの消費電力が減ります。これにより、経営者も喜び、地球も少しでも健康になります。
注意すべき点 もちろん、これは魔法ではありません。依然として、出力密度には注意が必要です。 狭い空間に多すぎるワット数を投入すると、過熱が起こります。コンベヤーの速度やランプの高さを適切に調整しないと、基板の端が焼けてしまいます。 もう一つのヒントとして、冷却ファンにも注意が必要です。バランスが取れていないと、工場内の温度が上昇し、センサーの警報が鳴ってしまいます。 私たちが設計したこのランプは、既存の装置に簡単に取り替えられるようになっています。これにより、乾燥時間が短縮され、VOCを含む溶剤も不要になります。より迅速かつクリーンな方法で作業が行えます。