時間を無駄にして空気を温めるのはやめましょう。なぜ金製の反射器や赤外線が効果的なのか。 正直に言って、チャンバー内に熱風を送り込んで半導体ウェハを加熱しようとするのは非効率的です。実際、時間の半分は空気がウェハを温めるのを待つだけで、部屋の中の空間を温めるために莫大なエネルギーが浪費されます。これ...

ランプの破裂という悪夢を防ぐには 高負荷でウェーハを加熱処理しているとき、ランプが破裂するというのは単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは大惨事です。 一瞬前までは何も問題なかったのに、次の瞬間には、クォーツの破片やハロゲンの沈着物がウェーハの表面に散らばってしまいます。これにより、...