シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウ...

ウェーハの乾燥時間を推測するのはやめましょう。IRが最適な解決策です。 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、湿気という危険な要素と格闘していることになります。少しでも間違えると、表面張力によって微細な構造がくっついてしまいます。これを「スティクション」と呼び、高い歩留まりを維持しようとする...

清潔を保つために：ウェハー加熱の現実 半導体業界においては、わずかな汚れがあっても大惨事となります。クラス100のクリーンルームで作業を行う場合、加熱素子から出るわずかな破片でも、ウェハー全体が台無しになってしまいます。そのため、私たちは材料には細心の注意を払い、IRランプとしては高純度の合成石英...

機械の内壁を加熱するのをやめましょう 半導体製造工程でスマートセンサーを使ったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。一般的な赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出する照明器具に過ぎません。 問題は、ワークピースが熱くなるだけでなく、他の部分も同じように熱くなってしまうことです。多くのエン...

水素センサーの適切な温度管理 水素センサーを作るには、バランスをうまく取る必要があります。温度は絶対に適切でなければならず、熱すぎても寒すぎてもいけません。そうでなければ、センサーの薄膜が壊れたり、触媒がうまく機能しなくなったりします。 そのため、私たちは短波長のIRシステムを使用しています。部品...