赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、加熱処理が大きな課題となります。問題は温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。 一般的なIRランプは、この点で問題があります。これらのランプからは、端の部分から微細な金属片が放出されます。もしそうした金属片がウェーハや光学コーティ...