OLED製造用乾燥ランプ

OLEDリソグラフィーにおいては、熱変動の余地はほとんどありません。もし加熱処理で温度が±0.5℃でもずれてしまうと、CDの均一性が悪化し、またレジストの形状も不安定になり、エッチングの際に問題が生じます。したがって、一定の温度を保つことができる乾燥ランプが必要です。日々の環境変化に影響されないよ...