深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ

ファブ内では、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」ではありません。それは、偽ることのできない重要な制御ポイントです。ソフトバーンまたはハードバーンの際に1℃の偏差が生じると、重要な寸法が目標値から外れ、線端の粗さが悪化します。私たちは、プロセスが要求する温度を維持するために、深紫外線用のレジスト...