ウェーハ用高精度IRセンサー

シャードの発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 大量生産の半導体工場において、ランプが破損するというのは単なる「稼働停止」という問題にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破損すると、ガラスの破片やハロゲンガスが至る所に飛び散ります。一度破損すれば、作成されたウ...