모듈식 적외선 난방 배열

공정 현장에서 포토레지스트 베이크는 선택 사항이 아니라 열적 조건이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 1.5°C의 온도 편차만으로도 중요한 선폭이 변형되어 수율 저하로 이어질 수 있다. Modular Infrared Heating Array는 이러한 현실에 대응하기 위해 개발되...