300mm 웨이퍼용 균일한 열 처리 IR

300mm 웨이퍼를 처리할 때는, 베이킹 과정에서 온도가 일정하지 않아지는 것을 느낄 수 있습니다. 선의 굵기도 변하고, 현상 과정 후에는 이물질이 생기기도 합니다. 히트 존의 온도가 설정된 값과 맞지 않으면, 포토레지스트의 품질이 저하되고, 그 결과 생산성도 떨어집...