공기를 가열하는 데 시간을 낭비하지 마세요: 금 반사체와 적외선이 효과적인 이유 솔직히 말해서, 챔버 안에 뜨거운 공기를 불어넣어 반도체 웨이퍼를 가열하려는 방법은 효율이 매우 낮습니다. 사실상 시간의 절반은 공기가 웨이퍼를 따뜻하게 하는 데 소요되며, 나머지 에너지...

올바른 열 관리 방법: 금 도금된 트윈 튜브 램프가 효과적인 이유 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 열 관리가 매우 중요합니다. 하지만 문제는, 대부분의 경우 기계의 본체만 가열되어 에너지가 낭비된다는 점입니다. “친환경 공장”을 운영하고 싶다면 이는 큰 문제가 됩니다. 에...

팩 생산 현장에서 24시간 365일 가동 중단 없는 상태는 목표가 아니라 기본 전제조건이다. 포토레지스트 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 단 한 번의 온도 편차가 발생하면 전체 로트가 전부 무효가 될 수 있다. 그래서 우리는 금도금 적외선 램프를 사용한다. 이는 입...