AFM(원자력 현미경) 히터

현장에서는 AFM 히터의 0.1°C 드리프트가 단순한 측정 오차 이상의 문제를 일으킨다. 이는 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 공정에 영향을 미쳐 전체 열 예산의 균형을 무너뜨릴 수 있다. 열 균일성이 흐트러지면 라인폭 제어와 결함 밀도도 영향을 받는다....