웨이퍼 경화 램프용 반사기

램프가 파손되는 악몽을 막는 방법 고부하의 웨이퍼 처리를 할 때, 램프가 파손되는 것은 단순한 “유지보수 문제”가 아닙니다. 그것은 재앙과도 같습니다. 잠시 전까지는 모든 것이 정상이었는데, 갑자기 석영 조각들과 할로겐 침전물들이 웨이퍼 위에 흩어집니다. 이로 인해...