반도체 실험실용 오븐 램프

오븐의 온도 변동은 경고등으로 표시되지 않습니다. 대신, 노출 후에 중요한 치수값이 변하거나, 포토레지스트 프로파일에 이상이 생기거나, 수일이 걸려서야 문제가 발견됩니다. 웨이퍼 건조나 소프트 베이크, 하드 베이크 과정에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 저희는 반도체...