熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金製の反射板が重要なのか ウェハを加熱するとき、出力が大きければ大きいほど良い結果が得られると考えがちです。しかし実際には、そのエネルギーがウェハに届かなければ意味がありません。 ほとんどの反射板には欠陥があり、エネルギーが漏れてしまいます。私たちは、その漏れを防ぐため...

ファブ内での汚染について心配する必要はありません。 クラス100のクリーンルームを運用している場合、ミスの余地は一切ありません。わずかなほこりや、安価な加熱素子から発生するガスでも、シリコンウェハーは台無しになってしまいます。これは真っ赤な悪夢です。 だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRラ...