中波用クォーツヒーターチューブ

製造現場において、フォトレジストの加熱プロファイルに0.5℃のばらつきがあるだけでも、それは許されない。そうなるとウェーハは廃棄処分になってしまう。ウェーハは急速に移動するため、チャックはシフトごとに一貫した温度均一性を保つ必要がある。ヒーターがその要求に応えられない場合、生産効率が低下し、再作業...