半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クリーンルーム内で使用されるヒーターが爆発しないようにするためには、何が必要かを考えてみましょう。半導体製造工場において、ヒーターが故障するというのは、単なる「技術的な問題」以上の深刻な問題です。それはまさに悪夢です。単に生産が停止するだけでなく、ウェーハ全体が廃棄処分になってしまう可能性もありま...