ファブ内の温度を適切にコントロールする方法 半導体を製造する際には、わずかな温度の違いでも大きな問題につながります。そのため、私たちは古くて非効率的な抵抗加熱方式を使わず、デジタル式のIR乾燥装置を使用しています。 これは、無駄をなくすための手段です。クリーンルームはエネルギー消費量が多いため、二...

製造現場では、わずか0.5度の温度変動だけでも、部品の寸法精度に影響を与え、歩留まりを低下させてしまいます。従来のヒーターでは、温度の遅れや端部分での温度上昇といった問題を解決することができず、その結果、製造工程に悪影響が出ます。そこで、私たちはIC処理用のコンパクトな赤外線乾燥機を開発し、こうし...

ファブフロアでは、温度ドリフトが警告ラベルで示されることはない。ライン歩留まりの低下、モニター上の粒子スパイク、あるいはフォトレジストのプロファイルがシフトごとに徐々に変動し始めることで初めて気づくものである。ウェハー乾燥、フォトレジストのソフトベークおよびハードベーク、パッケージングの硬化におい...