時間を無駄にして空気を温めるのはやめましょう。なぜ金製の反射器や赤外線が効果的なのか。 正直に言って、チャンバー内に熱風を送り込んで半導体ウェハを加熱しようとするのは非効率的です。実際、時間の半分は空気がウェハを温めるのを待つだけで、部屋の中の空間を温めるために莫大なエネルギーが浪費されます。これ...

適切な加熱を実現するために：なぜ金コーティングされたツインチューブランプが効果的か 半導体ウェーハの処理においては、熱管理が非常に重要です。しかし問題は、ほとんどの場合、機械の筐体自体が過度に加熱されてしまい、電力が無駄に消費されてしまうことです。もし「環境に優しい」工場を運営したいのであれば、こ...