クリーンルーム内のヒーターを安全に保つために（そして、心の平穏を保つために） クリーンルームを運営しているとき、最も避けたいのは、ヒーターから粒子が飛び散ったり、さらに悪いことに、電気的な火花が発生することです。それは悲惨な状況です。だからこそ、私たちはIRランプを製造する際、単に熱を発生させる機...

ライン上では、オーブンの温度変動は警告灯として表示されません。代わりに、露光後に重要な寸法が変動したり、フォトレジストのプロファイルに乱れが生じたり、修正に数日かかるような問題が発生します。ウェーハの乾燥やソフトベーク、ハードベークでは、熱管理は厳格に制御されています。 私たちが開発した半導体用オ...