AFM 原子間力顕微鏡 ヒーター
ファブフロアでは、AFMヒーターの0.1℃のドリフトは単なる測定上の問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベークに影響を及ぼし、全体の熱予算のバランスを崩します。熱の均一性が乱れれば、線幅制御や欠陥密度にも影響が及びます。当社のAFMヒーターは、物理的要求に応じてサンプル上、スキ...
ファブヒーター用電源ケーブル
製造ライン上において、ファブヒーターの熱プロファイルはそれに供給される電力の安定性に左右される。電圧降下、接続端子の緩み、あるいは抵抗値が変動するケーブルは、ウェーハレベルの非均一性として現れる可能性がある。例えば、リソグラフィのライン幅のばらつきや、フォトレジストのベイク結果の不均一性が挙げられ...