RTPシステム用ハロゲンランプ

ファブの現場では、よく知られているように、フォトレジストを加熱する際に0.5℃のばらつきがあっただけで、重要な寸法がナノメートル単位で変動し、その結果、生産されたウェーハが全滅してしまうこともあります。RTPというのは単なる加熱処理ではなく、クリーンルームの環境を損なわずに、再現性の高いウェーハレ...