用于IC的紧凑型红外干燥器

在芯片制造过程中，哪怕温度仅有半度的变化，都可能影响到芯片的关键尺寸，进而影响产品的良率。传统的加热方式难以消除这种温度波动带来的影响，而这种不确定性会在生产线上表现出来。我们研发了一种紧凑型的红外干燥器，用于IC加工，从而消除这些波动因素。 红外加热：亚毫米级的均匀性与重复性 该设备利用接近红外...