标签为“升级”的页面如下 洁净室设备升级中 别再等待加热器升温了:从强制对流加热转向红外加热 当人们谈论升级工厂中的洁净室设备时,他们通常只关注生产效率。但实际上,在复杂的加工过程中,真正的瓶颈并非加工工艺本身,而是设备达到工作温度所需的时间。 我们大多数人习惯于使用热空气循环加热的方式。你需要先加热空气,再让空气来加热晶圆,然后等待。这种... Read more...
洁净室设备升级中 别再等待加热器升温了:从强制对流加热转向红外加热 当人们谈论升级工厂中的洁净室设备时,他们通常只关注生产效率。但实际上,在复杂的加工过程中,真正的瓶颈并非加工工艺本身,而是设备达到工作温度所需的时间。 我们大多数人习惯于使用热空气循环加热的方式。你需要先加热空气,再让空气来加热晶圆,然后等待。这种... Read more...