半导体扩散炉灯

在晶圆厂车间，扩散炉不是一个黑箱系统。它是一个严格受控的热边界。如果灯阵列开始性能下降，晶圆上的温度分布就会偏移。光刻胶剖面发生变化。氧化层厚度的波动增大。良率下降——悄无声息，却在数据中体现出来。 我们制造扩散炉灯具的唯一目的：在工艺需要的地方提供稳定且可重复的热量，同时不增加污染风险。灯具是电...