别再猜测晶圆的干燥时间了：为什么红外技术才是最佳选择 在干燥MEMS传感器晶圆时，其实是在与水分进行一场危险的较量。一旦处理不当，表面张力就会让那些极其微小的结构粘在一起。我们把这种现象称为“粘附现象”，这对于那些希望保持高成品率的人来说无疑是个噩梦。 如果你要建造一座先进的制造工厂，就不能依赖传...

别再担心生产过程中的污染问题了 在100级洁净室中，任何一点错误都可能导致灾难性后果。哪怕是一小片灰尘，或者来自廉价加热元件的微量有害气体，都可能毁掉你的硅晶圆。这真是个可怕的情景。 因此，我们改用了高纯度的合成石英红外灯。 为什么石英灯如此有效？ 我们使用的的是经过严格处理的熔融硅材料，几乎不含...

在光刻后处理阶段，从浆液处理工序中出来的晶圆上，其图案区域仍带有微小的液滴。这样的晶圆实际上已经具备了合格品的条件。而水痕、重新沉积物以及图案变形等问题则通常会在后续的光刻和蚀刻工序中出现。因此，干燥装置并非可有可无的部件，而是晶圆离开CMP处理单元前的最后一道热处理步骤。 技术上的关键点 我们设...

在OLED制造过程中，OLED光刻技术几乎无法容忍任何温度波动。如果烘烤过程中的温度偏差达到±0.5°C，就会导致光刻胶的均匀性下降，同时还会影响蚀刻效果。因此，需要一种能够保持恒定温度的干燥灯，而不是那种会随时间而变化的灯具。 我们采用了什么解决方案，以及为什么这样设计 我们将OLED干燥灯置于...

在线生产中，时间不是建议，而是界限。旋涂后，晶圆上覆盖着一层薄薄的光刻胶膜，必须进行调理和干燥，才能进行曝光。软烘如果控制不严，光刻胶轮廓会漂移。曝光后的硬烘如果不均匀，蚀刻容差会崩溃。如果最终干燥步骤留下水印或产生颗粒，第二天的良率报告中就会看到代价。 我们开发的快速晶圆干燥红外系统，旨在消除热...