晶圆加工设备用温度传感器

保持环境清洁：晶圆加热的现实状况 在半导体行业中，哪怕只有一丁点杂质存在，都可能引发严重问题。在100级洁净室中工作的话，稍有灰尘或碎屑进入，整个晶圆批次都会报废。因此，我们不会使用普通材料，而是选择高纯度的合成石英来制作红外线灯。 为什么选择石英？ 普通玻璃在高温下会释放气体并产生颗粒物，而此时...