红外发射器的陶瓷端帽

如何保持100级洁净室的清洁状态 在运营100级洁净室时，供暖是个棘手的问题。问题不在于温度本身，而在于那些看不见的微小颗粒。 普通的红外灯就存在这个问题——它们的端盖会释放出微小的金属碎片。如果这些碎片落在晶圆或光学涂层上，那就等于白白浪费了很多钱。 我们通过使用高纯度石英管以及专门的陶瓷端盖来...