如何确保洁净室中的加热器安全运行（同时保护您的设备） 在运营洁净室时，最不希望出现的状况，就是加热器开始释放颗粒物，或者更糟糕的是引发电弧放电。那简直就是一场噩梦。因此，在制造红外灯时，我们会格外注重石英外壳和电极密封性的问题，而不仅仅是关注其产生的热量而已。 为什么我们要对每盏灯进行测试 其实，...

在光刻过程中，烤箱温度的波动不会通过警示灯来显示出来。这种波动会体现在曝光后关键尺寸的变化上，或者表现为光刻胶表面的不均匀性，又或者会导致良率下降，而要解决这些问题需要花费数天的时间。在晶圆干燥、软烘烤和硬烘烤过程中，热处理条件是固定不变的。 我们设计的半导体实验室用烤箱采用了短波红外线技术，因为...