真空室红外加热器

停止让热量在真空室中白白流失 在真空环境中工作时，对流现象会消失。此时，只有辐射作用存在。如果不加以注意，大部分宝贵的能源就会浪费在真空室的墙壁上。在处理晶圆时，每一瓦特的能量损失都相当于设计上的缺陷。 因此，我们使用镀金反射器。虽然听起来很高级，但实际上原理很简单：我们希望红外能量能够照射到晶圆...