防止碎片飞溅：在红外灯出现故障时保护晶圆免受损害 在大型半导体制造厂中，红外灯的故障可不是简单的“停机问题”，而是一场噩梦。当石英管破裂时，玻璃碎片和卤素气体会四处飞溅。一旦发生这种情况，整批晶圆就报废了。我们花了大量时间研究如何避免这种情况发生，重点关注的是灯泡的构造及其材料。 将碎片限制在内部...

别再猜测晶圆的干燥时间了：为什么红外技术才是最佳选择 在干燥MEMS传感器晶圆时，其实是在与水分进行一场危险的较量。一旦处理不当，表面张力就会让那些极其微小的结构粘在一起。我们把这种现象称为“粘附现象”，这对于那些希望保持高成品率的人来说无疑是个噩梦。 如果你要建造一座先进的制造工厂，就不能依赖传...

保持环境清洁：晶圆加热的现实状况 在半导体行业中，哪怕只有一丁点杂质存在，都可能引发严重问题。在100级洁净室中工作的话，稍有灰尘或碎屑进入，整个晶圆批次都会报废。因此，我们不会使用普通材料，而是选择高纯度的合成石英来制作红外线灯。 为什么选择石英？ 普通玻璃在高温下会释放气体并产生颗粒物，而此时...

停止让机器的墙壁过热 如果你曾经在半导体生产环境中使用过智能传感器组件，那么你就知道这有多麻烦。普通的红外灯本质上就是会向各个方向散发热量的灯泡。 问题在于：虽然工件会变热，但机器的其他部分也会跟着变热。我咨询过很多工程师，他们都说：机器的内壁温度高到几乎无法触碰。这简直就是一场噩梦。为了防止机器...

如何为氢气传感器提供合适的温度 制造氢气传感器需要精确控制温度——既不能太热，也不能太冷。否则，传感器的膜层就会损坏，或者催化剂也无法正常工作。 正因如此，我们才使用短波红外技术。通过这种方式，能量可以直接作用于材料本身，而无需加热周围的空气。这是一种更有效的加热方式，尤其对于那些需要保持洁净环境...