중파 석영 히터 튜브

제조 현장에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5°C의 온도 변동도 결코 무시할 수 없습니다. 그런 실수는 웨이퍼가 폐기되는 결과를 초래합니다. 웨이퍼들은 매우 빠르게 이동하기 때문에, 히터는 매번 일정한 온도를 유지해야 합니다. 만약 히터가 이를 제대로 수행...