글로브박스 적외선 히터 소자

웨이퍼 건조나 포토레지스트 가열 과정에서 발생하는 열 변동은 단순히 생산 속도에 영향을 미치는 것뿐만 아니라, 웨이퍼의 중요한 치수들도 변하게 만들고 수율도 저하시킵니다. 글로브박스 내부에서는 밀폐된 환경과 제한된 열 조건 때문에, 기존의 히터들은 입자가 발생하지 않...