웨이퍼용 고정밀 IR 센서

파편을 막아라: IR 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 단순한 가동 중단 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다. 쿼츠 튜브가 파괴되면 유리 조각들과 할로겐 가스가 사방으로 튀어나옵니다....