극자외선(EUV) 리ist 가열 부품들
극단적인 UV 저항체 가열: 진정한 엔지니어링의 실력
우리가 만드는 극단적인 UV(EUV) 저항체 가열 장치는, 이미 알려진 미국 및 일본의 고급 브랜드들과 어깨를 나란히 할 수 있도록 설계되었습니다. 차이점이 있다면, 동일한 성능을 제공하지만, 그 과정에서 비용은...
심부 자외선(DUV) 레지스트 건조 램프
팹 내에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 ‘일시 정지’가 아닙니다. 이는 반드시 준수해야 하는 중요한 제어 지점입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만의 온도 변화라도 발생하면, 치명적인 수치들이 왜곡되고, 회로선의 가장자리가 거칠어집니다. 저...