클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 청정실을 운영할 때 난방은 상당히 골칫거리가 됩니다. 문제는 온도 그 자체가 아니라, 눈에 보이지 않는 미세한 입자들입니다. 일반적인 IR 램프는 이러한 문제를 야기합니다. 이 램프들은 끝부분에서 작은...

파편을 막아라: IR 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 단순한 가동 중단 문제가 아닙니다. 그것은 진짜 악몽입니다. 쿼츠 튜브가 파괴되면 유리 조각들과 할로겐 가스가 사방으로 튀어나옵니다....

300mm 웨이퍼를 처리할 때는, 베이킹 과정에서 온도가 일정하지 않아지는 것을 느낄 수 있습니다. 선의 굵기도 변하고, 현상 과정 후에는 이물질이 생기기도 합니다. 히트 존의 온도가 설정된 값과 맞지 않으면, 포토레지스트의 품질이 저하되고, 그 결과 생산성도 떨어집...