고속 웨이퍼 건조 적외선

라인에서 시간은 제안 사항이 아니라 경계선이다. 스핀 코팅 후, 웨이퍼는 얇은 포토레지스트 필름을 가진 상태로 노출 전에 컨디셔닝 및 건조가 필요하다. 소프트 베이크가 엄격하지 않으면 레지스트 프로파일이 변동한다. 노출 후 하드 베이크가 균일하지 않으면 식각 허용 오...