반도체 확산로 램프

Fab 현장에서 퍼니스는 블랙박스가 아니다. 그것은 엄격히 제어되는 열 경계다. 램프 어레이가 성능 저하를 보이면 웨이퍼 전체의 온도 분포가 변한다. 포토레지스트 프로파일이 이동하고, 산화막 두께 편차가 커진다. 수율은 조용히, 그러나 수치로 하락한다. 우리가 디퓨전...