올바른 열 관리 방법: 금 도금된 트윈 튜브 램프가 효과적인 이유 반도체 웨이퍼를 다룰 때는 열 관리가 매우 중요합니다. 하지만 문제는, 대부분의 경우 기계의 본체만 가열되어 에너지가 낭비된다는 점입니다. “친환경 공장”을 운영하고 싶다면 이는 큰 문제가 됩니다. 에...

제조 현장에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5°C의 온도 변동도 결코 무시할 수 없습니다. 그런 실수는 웨이퍼가 폐기되는 결과를 초래합니다. 웨이퍼들은 매우 빠르게 이동하기 때문에, 히터는 매번 일정한 온도를 유지해야 합니다. 만약 히터가 이를 제대로 수행...