ファブヒーター用電源ケーブル

製造ライン上において、ファブヒーターの熱プロファイルはそれに供給される電力の安定性に左右される。電圧降下、接続端子の緩み、あるいは抵抗値が変動するケーブルは、ウェーハレベルの非均一性として現れる可能性がある。例えば、リソグラフィのライン幅のばらつきや、フォトレジストのベイク結果の不均一性が挙げられ...