ファブフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく熱的な約束事である。ウェーハ上で1.5℃のドリフトがあるだけで、クリティカルな線幅が不良率の増加につながる。これを踏まえ、モジュラー赤外線加熱アレイを設計し、プロセスが要求する再現性のあるかつ計測可能な制御を実現している。 技術的に重要な点...

秘密の技術：熱がちゃんと留まる暖房 私たちの電気床暖房の作り方をご紹介します。必要な場所に、必要なときに暖かさを届けたかったのです。そして、システムを切った瞬間に熱が消えてしまうのは避けたかった。 そこで赤外線を採用しました。これはまさに革命的です。 昔ながらの強制送風システムのようにただ熱風を吹...