Aixtron ヒーターエレメントのスペア

ファブフロアにおける技術的要件 Aixtron MOCVD チャンバーは、まったく余裕を与えません。ヒーター要素がドリフトし始めるとすぐにわかります：サセプター全体の温度不均一性、ラン・トゥ・ランの再現性の低下、エピプロファイルのばらつきによってウエハーを廃棄せざるを得なくなります。ダウンタイムは...